操控性好高溫四探針測量系統(tǒng)Huace-600測試儀器

操控性好高溫四探針測量系統(tǒng)Huace-600測試儀器概述：

●Huace-600高溫四探針測量系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以測量硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻 以及測量導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜的方塊電阻，該設(shè)備按照單晶硅物理測試方法標準設(shè)計的。

●采用由四端測量方法測試電阻率系統(tǒng)與高溫試驗箱為一體的的高溫測試系統(tǒng)，滿足半導體及導體材料因溫度變化對電阻值變化的 測量要求，通以在高溫 、真空、氣氛的條件下測量導電材料電阻和電阻率，可以分析被測樣的電阻和電阻率隨溫度、 時間變化的曲 線． 目前主要針對圓片、方塊、長條等樣品進行測試，可以廣泛用于碳系導電材料、 金屬系導電材料、 金屬氧化物系導電材料、結(jié) 構(gòu)型高分子導電材料、復合導電材料等材料的電阻率測量。 過測控軟件可以顯示出溫度與電阻，電阻率，電導率數(shù)據(jù)的變化曲 線。

儀器特點：

1、可以測量高溫、真空、氣氛下薄膜方塊電阻和薄層電阻率；

2、軟件、觸摸屏、高溫爐等集成于一體，可以進行可視化操作；

3、可實現(xiàn)純凈氣氛條件下的測量；同時保證探針在高溫下不氧化；

4、采用labview軟件開發(fā)，操控性、兼容性好、方便升級；

5、可自動調(diào)節(jié)樣品測試電壓，探針和薄膜接觸閃絡(luò)現(xiàn)象；

6、控溫和測溫采用同一個傳感器，保證樣品每次采集的溫度都是樣品實際溫度；

7、可配套使用Keithley2400或2600數(shù)字多用表；

特點:

● 多級循環(huán)溫度采集技術(shù)： 設(shè)備采用PID算法，以及多級循環(huán)溫度采集以保證溫度的有效值?？販睾蜏y溫采用同一個傳感器，保證樣品每次采集的溫度都 是樣品實際溫度.

● 雙系統(tǒng)互鎖技術(shù)及隔離屏蔽技術(shù)： 本設(shè)備不僅具備過壓、過流保護系統(tǒng)，雙系統(tǒng)互鎖機制，當任何元器件出現(xiàn)問題或單系統(tǒng)出現(xiàn)故障時，將瞬間切斷 電源。采用低通濾波電流檢測技術(shù)以保證采集電流的有效值 ，以及電流抗干擾的屏蔽。

● SPWM電子升壓技術(shù) 目前設(shè)備大都采用SPWM電子升壓技術(shù)，這一技術(shù)具有升壓速度平穩(wěn)，精度高。便于維護等優(yōu)點是調(diào)壓器。